湖南興晟新材料科技有限公司
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HUNAN XINGSHENG NOVEL MATERIALS TECHNOLOGY CO.,LTD
Solid SiC 盤(pán)、環(huán)
SiC涂層CC隔熱屏
6寸單片石墨盤(pán)（CVD SiC涂層）
SiC涂層CC隔熱屏
TaC涂層坩堝
4寸多片石墨盤(pán)
SKIRT
圓盤(pán)
圓環(huán)?
5、良好的化學(xué)穩(wěn)定性與耐腐蝕性????
能抵抗各種酸(HF除外)、堿、鹽及有機(jī)溶劑的腐蝕，不會(huì)產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)
6、較長(zhǎng)的使用壽命????
CVD SiC涂層產(chǎn)品的壽命是市場(chǎng)常見(jiàn)無(wú)涂層產(chǎn)品的2-3倍
7、外觀質(zhì)量????
外觀表面光潔平整，無(wú)裂痕，無(wú)疵點(diǎn)。
8、按需定制????
按用戶(hù)需求定制各種非標(biāo)陶瓷符合材料及其SiC/TaCc涂層制品。
1、超高的純度
CVD SiC涂層的雜質(zhì)含量為ppm、ppb級(jí)
2、優(yōu)異的耐熱震性能????
熱膨脹系數(shù)小且可調(diào)節(jié)，能夠抵抗急冷急熱。
3、優(yōu)異的抗氧化、抗硅化性能
SiC涂層可有效隔離氧、硅與炭素?zé)釄?chǎng)材料接觸，有效房子產(chǎn)品氧化、硅化。
4、優(yōu)異的耐磨損性能
表面SiC涂層硬度高，可顯著減少炭素?zé)釄?chǎng)材料的磨損，產(chǎn)品壽命大幅度提高。
產(chǎn)品特點(diǎn)
SiC單晶生產(chǎn)TaC涂層坩堝
TaC涂層托盤(pán)
TaC涂層噴管
TaC涂層隔熱屏
Solid SiC 盤(pán)、環(huán)
Solid SiC 載片器
4寸多片石墨盤(pán)（CVD SiC涂層）
6寸單片石墨盤(pán)（CVD SiC涂層）
PECVD舟架（CVD SiC涂層）
SiC芯片外延成套石墨零部件（CVD SiC涂層）CVD SiC涂層石墨發(fā)熱體
SiC陶瓷刻蝕盤(pán)（CVD SiC涂層）
