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漿料注射法制備 Cf/SiC-ZrC 復合材料及其 力學和抗氧化性能
來源: | 作者:travel-100 | 發(fā)布時間: 2022-03-29 | 1275 次瀏覽 | 分享到:
本文以 SiC 粉和 ZrC 粉為原料,配制固含量體積分數(shù)為 30%的水基陶瓷漿料,分別采用漿料注射法和真 空浸漬法將漿料引入到密度為 0.2 g/cm3 的碳纖維預制體中,結合化學氣相滲透和反應熔滲工藝制備 Cf/SiC-ZrC 復合材料。觀察分析素坯和 Cf/SiC-ZrC 復合材料的形貌與組織結構,測定復合材料的密度、開孔率、抗彎強度和 抗氧化等性能。結果表明,相比真空浸漬法,漿料注射法能一次將SiC粉和ZrC粉均勻引入碳纖維預制體中,坯 體體積一次填充37.3%。注射后處理樣的平均密度為2.91 g/cm3,中心和外層的抗彎強度相差較小,分別為41.12 MPa和43.90 MPa,材料的斷裂方式均表現(xiàn)為假塑性斷裂,。注射后處理樣在空氣中氧化120 min后,表面形成了 較為連續(xù)致密的氧化層,氧化趨于平衡穩(wěn)定,表現(xiàn)出較好的抗氧化性能。


漿料注射法制備 Cf/SiC-ZrC 復合材料及其
力學和抗氧化性能


要:本文以 SiC 粉和 ZrC 粉為原料,配制固含量體積分數(shù)為 30%的水基陶瓷漿料,分別采用漿料注射法和真 空浸漬法將漿料引入到密度為 0.2 g/cm3 的碳纖維預制體中,結合化學氣相滲透和反應熔滲工藝制備 Cf/SiC-ZrC 復合材料。觀察分析素坯和 Cf/SiC-ZrC 復合材料的形貌與組織結構,測定復合材料的密度、開孔率、抗彎強度和 抗氧化等性能。結果表明,相比真空浸漬法,漿料注射法能一次將SiC粉和ZrC粉均勻引入碳纖維預制體中,坯 體體積一次填充37.3%。注射后處理樣的平均密度為2.91 g/cm3,中心和外層的抗彎強度相差較小,分別為41.12 MPa43.90 MPa,材料的斷裂方式均表現(xiàn)為假塑性斷裂,。注射后處理樣在空氣中氧化120 min后,表面形成了 較為連續(xù)致密的氧化層,氧化趨于平衡穩(wěn)定,表現(xiàn)出較好的抗氧化性能。

關鍵詞:漿料注射;真空浸漬;Cf/SiC-ZrC復合材料;力學性能;抗氧化性能 文獻標志碼: A


隨著航空航天領域技術的不斷進步,對其所使用

材料的抗氧化、耐燒蝕性能要求也越來越嚴苛[1]。C/C 復合材料在氧化氣氛中400 °C就開始被氧化,限制了 其在極端環(huán)境下的應用[2]°C/SiC復合材料在長期高溫 氧化氣氛中,SiC基體會從被動氧化轉變?yōu)橹鲃友趸?/span> 因此,也限制了其在長期氧化環(huán)境中的應用[3]。大量 研究表明,在C/C基體中引入包括過渡金屬硼化物和 碳化物在內的超高溫陶瓷是提高 C/C 復合材料抗氧 化、耐燒蝕性能的有效方法之一[4-7],特別是 ZrC 有高熔點(3 540。0,且其氧化物ZrO2的熔點相當高 (?2973 K),是航空航天熱結構材料常用的基體材 料[10-11]。一般而言, ZrC 在高溫氧化氣氛中氧化生成 ZrO2,氧氣能通過ZrO2之間的孔洞進入材料內部,導 致基體內部的進一步氧化,因此,單獨使用 ZrC 會降 低復合材料的抗氧化性能,而將 SiC ZrC 陶瓷配合 使用,在高溫氧化環(huán)境中可形成熔融共晶 ZrO2-SiO2 阻擋層,有助于降低外部氧氣擴散到復合材料內部, 其中,SiC所占體積比為30%時(ZrC-30 SiC),可有效 提高復合材料的抗氧化和耐燒蝕性能[12-14]

研究者已通過不同工藝將 ZrC SiC 引入碳纖維 復合材料,以此來提高復合材料的力學性能和抗氧化 性能,主要包括化學氣相滲透/沉積(Chemical vapor infiltration/deposition, CVI/D)、前驅體滲透熱解法 (Precursor infiltration and pyrolysis,PIP)和反應性熔體 滲透(Reactive melt infiltration, RMI)等。XIE 等[15] PIP 工藝制備了具有連續(xù) SiC-ZrC 陶瓷基體的 C/C- ZrC-SiC 復合材料,在相同燒蝕條件下 C/C-ZrC-SiC 復合材料的線性燒蝕率比純 C/C C/C-SiC 復合材料 低一個數(shù)量級, 其抗氧化性能也更高,說明引入 SiC-ZrC 陶瓷基體能提高材料的抗氧化、耐燒蝕性能。 徐一溪等[16以密度為1.6 g/cm3的多孔C/C為坯體.采 用 RMI 工藝制備了不同 Zr 含量的 C/C-SiC-ZrC 復合 材料, ZrC SiC C 具有良好的界面結合狀態(tài),表 現(xiàn)出良好的力學性能。 TANG 等[17]通過 CVI 工藝制備 C/SiC C/ZrB2-SiC 復合材料,在相同的燒蝕條件 下添加了 ZrB2的復合材料燒蝕率更低。為了進一步提 高復合材料的抗氧化性能,研究者開發(fā)了一系列的復 合工藝。 WANG 等通過 CVI 結合 PIP 工藝制備了 C/C-ZrC-SiC 復合材料,并基于非均相燒蝕反應模型 ZrO2-SiO2 體系的相圖闡明 C/C-ZrC-SiC 復合材料 的燒蝕機制,但通過這種復合工藝得到的復合材料最 終密度不高,且 ZrC SiC 的占比較低,導致最終的 抗氧化性能不佳。

盡管許多研究者開發(fā)了多種復合工藝,但仍無法 解決碳纖維增強陶瓷基復合材料密度不均勻、厚壁部 件制備困難等問題[18-20]。為提高大尺寸復合材料的密 度與均勻性,本文首先對碳纖維預制體進行漿料注射 預先引入 ZrC、 SiC 粉,結合 CVI RMI 制備 Cf/ SiC-ZrC 復合材料。采用該方法能夠實現(xiàn)不同成分漿 料的定點定量注射,制備密度均勻的厚壁部件、異形 部件。本文重點研究漿料注射后素坯中粉末分布均勻 性及其對復合材料整體密度、力學性能和抗氧化性能 的影響,為快速制備均勻陶瓷基復合材料提供了一種 新思路。

1 實驗

1.1 原材料

所用厚度30 mm的2.5D整體針刺碳纖維預制體 由浙江天鳥公司生產,密度為0.2?0.25 g/cm3,由無 緯布與網(wǎng)胎交替層鋪針刺制得,網(wǎng)胎層與無緯布層體 積比為 1:1;所用 ZrC SiC 粉末由蒂姆(北京)新材料 科技有限公司生產,其中ZrC粉粒徑為10 pm,純度 99.5%, SiC粉粒徑為1 口m,純度為99.5%。注射 和浸漬均采用同一漿料,漿料以水為溶劑,聚丙烯酸 (PAAS)為分散劑,其中PAAS為國藥集團生產。注 射和浸漬所用漿料具體成分配比如表 1 所列。

1 注射和浸漬所用漿料成分表

Table 1 Composition of slurry used in injection and
impregnation(volume fraction, %)

Element ZrC-30SiC PAAS

Content/% 30 0.5 69.5

1.2 材料制備

漿料注射法制備Cf/SiC-ZrC復合材料具體步驟如 下:1) 漿料制備,按表 1 比例配制固含量體積分數(shù)為 30%的水基SiC-ZrC漿料并放入球磨機中球磨5?6 h, 轉速 200 r/min;2) 漿料注射,注射原理見圖 1。注射 時,針頭插入預制體距離底部2?3 mm處,然后以5 mm/s 的退針速度邊退針邊注射漿料,注射壓力為 0.7 MPa,注射間距10 mm,將完成注射后的濕坯放入烘 箱中烘干;3) 炭化,干燥后的 Cf/SiC-ZrC 預制體經 1 000 °C炭化,得到注射后的Cf/SiC-ZrC素坯;4)CVI 熱解炭(Pyrolytic carbon, PyC)增密及硅化,以天然氣 為碳源氣,氫氣為載氣,沉積溫度為1 050 C,爐膛 壓力為5?10 kPa,沉積時間為60 h,進行熱解炭沉積, 將沉積PyC后的樣品于1 600 C下滲硅,反應時間為 4 h,得到注射預處理后的Cf/SiC-ZrC復合材料。

真空浸漬法制備Cf/SiC-ZrC復合材料具體步驟如 下:將碳纖維預制體放入上述步驟 1 制得的同一漿料 中真空浸漬,重復上述步驟 3 和步驟 4 制得浸漬預處 理后的 Cf/SiC-ZrC 復合材料。



1.3 性能檢測 采用阿基米德排水法測量樣品的密度和開孔率; 采用 X 射線數(shù)字成像檢測系統(tǒng)對材料進行均勻性檢 測;采用丹東 DX2700B X 射線衍射儀分析樣品的 物相組成,以Cu Ka為光源,電壓40 kV,電流40 mA, 掃描速率10 (°/min,掃描范圍10。?80°采用FEI

Nova Nano 230型掃描電鏡觀察素坯及Cf/SiC-ZrC 合材料顯微組織形貌;采用美國 Instron3369 材料力 學試驗機進行三點抗彎實驗,試樣尺寸為3 mmx4 mmx36 mm,跨距為30 mm,加載速率為0.5 mm/min, 每組 3 個樣品,結果取平均值。將樣品放入馬弗爐中, 1 400 °C空氣氧化條件下進行抗氧化實驗,每隔30 min 測量一次樣品重量。

2 結果與討論

2.1 SiC-ZrC 漿料注射和浸漬對素坯結構的影響 多孔素坯中密度、開孔率和陶瓷粉末分布的均勻 性對素坯后續(xù)增密工藝有很大影響,同時也影響著復 合材料的力學性能和抗氧化性能。注射和浸漬后素坯 的密度、開孔率、填充的坯體孔隙體積比和相對密度 如表 2 所示,其中填充的坯體孔隙體積比和相對密度 計算公式見式(1)和式(2):

m2 - mi

P =邑 (1)

V

m2

聲對=

)p1 + m1

式中:mi、m2分別為碳纖維預制體質量、注射或浸漬 后素坯質量,g; pi為混合粉末密度,5.67 g/cm3; pc 為碳纖維密度, 1.75 g/cm3; V 為碳纖維預制體體積, cm3 ; p為相對于碳纖維預制體中孔隙完全被 ZrC-SiC 粉填充后的素坯的密度, g/cm3。

注射和浸漬后的素坯用SI和VI表示,結果表明, SI樣平均密度達到2.32 g/cm3,相對密度達到44.4%, 且開孔率下降不明顯。這說明SI樣中的孔隙仍為連通 的開孔,對后續(xù)增密沒有影響。

2 SI VI 樣的平均密度和開孔率

Table 2 Average density and porosity of SI and VI samples

Initial

Sample density/

Average density/

(g-cm-3)

Volume

Average

Relative density/%

open porosity/%

fraction of fill pore/%


(g-cm-3)

SI

0.20

2.32

54.7

37.3

44.4

VI

0.20

1.04

68.1

14.5

21.1

 

2 為注射和浸漬后素坯的 X 射線無損檢測圖 像,圖片中顏色的明暗反映陶瓷粉的多少,其中較暗 的區(qū)域包含更多的 SiC-ZrC 粉,而顏色明暗均勻性反 映陶瓷粉分布均勻性。,由圖2(a)可知,未進行任何處 理的碳纖維預制體整體顏色均勻一致,說明預制體密 度分布較均勻。

如圖2(b)所示,VI樣四周影像顏色深,中間部位 顏色較淺,顏色深說明陶瓷粉末聚集更多、密度高, 顏色淺說明陶瓷粉末聚集少、密度低,由此可知,浸 漬時陶瓷粉末幾乎只沉積在預制體的表面,滲透最大 深度為10 mm。這是由于陶瓷漿料很難在真空通過毛 細管力的作用深入到預制體孔隙中。且隨著浸漬的進 行,預制體表面的孔隙被填充,阻止浸漬的繼續(xù)進行。 若樣品尺寸超過兩倍滲透深度,那么陶瓷漿料將難以



滲透到預制體的中心。 SiC-ZrC 粉的不均勻分布,對 復合材料中心與表層的機械強度影響較大。此外,采 用該制備方法生產的復合材料一般需要后續(xù)機加工, 這將不可避免地導致材料大部分表層被去除,而只剩 下密度相對表層較低、性能較差的中心層。

而注射法能將漿料直接注射到預制體中心,保證 中心和表層漿料分布的一致性。如圖2(c)所示,SI 影像顏色均勻性高,這是由于注射過程采用邊退針邊 注射的方法,漿料會向周圍擴散,分散效果好,因此 整體密度高均勻性好;雖然最邊緣處的顏色比中間部 分略淺,密度相對中心較低,但這種邊緣密度低,中 間密度高的素坯在后續(xù)增密過程中能改善CVI工藝中 間沉積慢邊緣沉積快而引起的整體密度不均勻的現(xiàn) 象,在一定程度上提高復合材料的整體密度的均勻性。 通過調整注射深度和注射位置,可以確保預制體的各 個區(qū)域都被陶瓷漿料均勻填充。相比于浸漬法,注射 法能制備密度更高、均勻性更好的素坯,一次可將體 積分數(shù)為 37.3 %的陶瓷粉末引入坯體中,采用漿料注 射的素坯密度能達到2.32g/cm3,而浸漬的素坯密度僅 1.04 g/cm3

3 為碳纖維預制體和注射或浸漬后素坯的 SEM 圖。如圖3(a)和(b)所示,碳纖維預制體由網(wǎng)胎層和無 緯布交替層疊針刺,是一個疏松多孔的結構,特別是 網(wǎng)胎層存在大量孔隙,這對于具有良好流動性和潤濕 性的 SiC-ZrC 陶瓷漿料的注射和浸漬是非常有利的。 3(c)和@)為浸漬樣,陶瓷粉大都聚集在低纖維密度 的網(wǎng)胎層,而在高纖維密度的無緯布層存在較少的陶 瓷粉,并且大多是粒徑較小的SiC,幾乎沒有ZrC 末。這是由于無緯布層纖維密度高,纖維之間的孔隙 小,粒徑更大的 ZrC 粉難以通過真空產生的壓力差滲 透到纖維密度高的無緯布層,大粒徑的 ZrC 粉被纖維 “過濾”而難以滲入較深的部位,這種不均勻的分布 對復合材料的力學性能和抗氧化性能不利。

SiC-ZrC 粉末組成的陶瓷漿料可以在注射器的 連續(xù)壓力下注入并擴散到預制件內部的任何位置。如 3(e), (f)所示,通過注射制備的樣品整體密度高且 均勻,得到了較為致密的素坯。素坯中陶瓷粉均勻分 布在碳纖維周圍,且陶瓷粉不僅填充了纖維密度低孔 隙大的網(wǎng)胎層,還被大量引入到碳纖維氈內部,填充 了其內部孔隙,見圖3(e)。另外,從圖⑴中可以看出, 纖維密度高的無緯布層也被陶瓷粉很好的填充。經過 注射后的素坯雖然許多大孔被陶瓷粉填充,但仍為多 孔結構,便于后續(xù)進行CVI沉積PyC增密。因此,這 種漿料注射法可以實現(xiàn)將任意成分陶瓷漿料均勻且連 續(xù)的引入預制體的內部,且不受預制體形狀的影響, 與浸漬相比能更簡單有效的將陶瓷漿料引入預制體 中。

2.2 SiC-ZrC 漿料注射和浸漬對復合材料力學性能 的影響

圖4為注射和浸漬預處理后制備的Cf/SiC-ZrC 合材料中心部位的X射線衍射圖譜。其中,浸漬后制 備樣品中心部位顯示有SiC、C和未反應完全Si的強 峰值,但未檢出ZrC相,可見由于ZrC顆粒大(10 gm), 浸漬過程中難以滲透到樣品中心,這與圖 3 浸漬后素 坯的 SEM 圖顯示的結果一致。而注射后制備樣品中 心部位檢測出明顯的ZrC、SiC、C、未反應完全的Si 和ZrSi2峰,說明ZrC已滲透到注射后處理樣品中心 部位,而ZrSi2是由于ZrC與部分未反應完全的熔融 態(tài)Si反應而產生,ZrSi2在高溫氧化氣氛下會氧化生


*—ZrC ?

?—Si

▼— SiC

?_ ZrSi2

Vacuum impregnation sample ?

J h

Slurryinjection sample

JL


I i; 1 tl?

10 20 30

40 50

20/(°)

60 70 80

4 Cf/SiC-ZrC復合材料的XRD衍射圖譜


成ZrO2和ZrSiO4,其中,析出相ZrSiO4是釘扎相, 能阻礙微裂紋的擴展,能減少因裂紋擴展而造成的進 一步氧化[22]。

注射和浸漬預處理后制備的 Cf/SiC-ZrC 復合材料 中間和表層的物理參數(shù)如表 3 所示,其中注射后處理 樣品中間和表層樣分別用 SIR-I SIR-O 表示,浸漬 后處理樣品中間和表層分別用 VIR-I VIR-O 表示。 由表3可知,注射后處理樣中間和表層(SIR-I和SIR-O) 的平均密度、平均開孔率和三點抗彎強度相差不大, 抗彎強度分別為41.12 MPa和43.90 MPa,這是由于注 射后的素坯中陶瓷粉分布均勻,大部分孔隙為連通的 開孔,因此后續(xù)CVI也能均勻沉積PyC,最終經過滲
硅得到的復合材料的整體性能也更一致。然而,浸漬 工藝制備的復合材料,浸漬所得多孔素坯由于陶瓷粉 的不均勻分布,中間和表層密度便存在差別,后續(xù)CVI 沉積 PyC 以及滲硅后得到復合材料表層和中間的 (VIR-I和VIR-0)各項物理性能相差較大,特別是抗彎 強度相差較大,分別為29.38 MPa和78.85 MPa。

5 顯示了注射和浸漬預處理后制備的 Cf/SiC- ZrC復合材料的斷口形貌。從圖5(a)中可以看出,注 射后制備樣品無明顯的孔隙,致密度較高,且在進行 1 600 C滲硅后碳纖維表面仍然都附著有一層PyC,斷口有大量纖維拔出,包括碳纖維從PyC涂層中整體拔 出以及 PyC 包裹纖維從陶瓷基體中拔出。并觀察到 PyC 包裹纖維從陶瓷基體整體拔出后留下的孔洞和碳 纖維從PyC涂層中拔出后留下的涂層殼。纖維的拔出 本質上是由于PyC涂層與碳纖維之間形成了一個相對 較弱的界面,與簡單的碳纖維直接從陶瓷基體中拔出 和傳統(tǒng)陶瓷的脆性斷裂方式相比能吸收更多能量,有 利于提高Cf/SiC-ZrC復合材料的斷裂韌性。注射后制 備樣品的裂紋擴展SEM圖像和顯微組織形貌如圖5(b) 所示,裂紋在擴展時受到碳纖維/PyC界面阻礙,出現(xiàn)

明顯的裂紋偏轉,在裂紋擴展的同時也出現(xiàn)了纖維的 脫粘和纖維的拔出,消耗大量能量,這在一定程度上 增加了裂紋擴展勢壘。由此可知,注射預處理后所制 備的Cf/SiC-ZrC復合材料具有較好的避免瞬時災難性 斷裂的可靠性。

圖5(c)為浸漬后制備樣品的斷口形貌。由圖可知, 復合材料中存在許多較大的孔隙,致密度明顯低于注 射后制備樣品,碳纖維表面只有極薄甚至沒有PyC 層,部分碳纖維被熔融硅損傷。經過浸漬處理后,預 制體表面的大孔轉變?yōu)樾】谆虮惶沾煞厶畛涠氯?/span> 隨后CVI過程中小孔易被PyC堵住,形成了較多封孔, 阻礙CVI的繼續(xù)進行,因此,素坯內部未被PyC填充 的孔隙較多。在經過表面磨削后滲硅時,大量熔融液 態(tài)硅進入中心部位,而中心部位能與硅反應的 PyC 少,因此部分碳纖維被熔融硅損傷,嚴重影響碳纖維 的強度,同時,大量未參與反應的殘余硅留在復合材 料中。較多孔隙容易造成應力集中,導致災難性的脆 性破壞,而大量殘余硅會降低復合材料的抗氧化性能。 從圖5(d)中也能觀察到斷面處幾乎沒有碳纖維的拔 出,斷裂面較平整,部分碳纖維已被熔融液態(tài)硅侵蝕。

圖6為注射和浸漬預處理后制備的Cf/SiC-ZrC 合材料中心和外層的位移-載荷曲線。經過注射處理后 制備的Cf/SiC-ZrC復合材料中心和外層(SIR-I SIR-0)均顯示出假塑性斷裂行為,這歸因于纖維拔出 (如圖5(a))、裂紋偏轉和界面脫粘(如圖5(b)),以及碳 纖維與 SiC-ZrC 陶瓷基體之間均勻連續(xù)的結合。而經 過浸漬處理后制備的Cf/SiC-ZrC復合材料中心和外層 (VIR-I VIR-0 樣)均在達到最大載荷后,機械載荷 垂直下降,顯示出明顯的脆性斷裂行為,且中心的抗 彎強度要明顯低于表層,這是由于浸漬處理后制備的 樣品表層致密度低,孔隙多(如圖5(c)),容易造成應力

1

SIR-I /I


2

SIR-0 /


3

VIR-I /


■ 4

—VIR-C

/






*2

> 3

100

0.05 0.10 0.15 0.20

Displacement/mm

6 Cf/SiC-ZrC復合材料位移-載荷曲線

500

400

300

200

 

composites 集中,結合圖5(c)和(d),斷裂面較平整,碳纖維和基 體之間的結合力較強,復合材料很難通過碳纖維從基 體拔出或脫粘來吸收能量,導致災難性的脆性斷裂。 2.3 SiC-ZrC 漿料注射和浸漬對復合材料抗氧化性 能的影響

7 為兩種不同工藝制備的 Cf/SiC-ZrC 復合材料 的氧化失重隨時間變化關系圖??梢钥闯?,在空氣條 件下氧化 180 min 后浸漬后制備樣品質量損失率高達 8.67%,氧化 180 min 后,失重仍然繼續(xù)。而注射后制 備樣品損失率僅為2.88%, 120 min后氧化趨于穩(wěn)定, 質量基本不再變化。這是由于注射后制備樣品中 SiC 和ZrC分別被氧化成SiO2和ZrO2,在表面逐漸形成 了一層致密的氧化物膜,如圖9(b)和(d)所示,該致密 氧化物膜的存在能防止氧氣的進一步擴散。而浸漬后

7 Cf/SiC-ZrC復合材料在1 400 °C空氣中失重率隨時間 變化曲線

Fig.7 The weight loss rate of Cf/SiC-ZrC composites with time in the air at 1 400 C

 

 

*—ZrO2

*— SiC

▼— SiO2 ?—ZrSiOq

j . 1


Slurry injection sample

J hid丄■人” rid

10 20 30 40 50 60 70 80

20/(。)

 

8 Cf/SiC-ZrC復合材料在1 400 C抗氧化后的

XRD 衍射圖譜

oxidation at 1 400 C
制備樣品中表層碳纖維骨架被氧化并留下孔洞,如前 所述,這是由于浸漬后制備樣品在浸漬時ZrC粉和SiC 粉分布不均勻,表層ZrC遠多于SiC,生成的ZrO2 主導,而ZrO2在高溫下是良好的氧離子通道,氧氣很 容易通過ZrO2擴散并消耗復合材料中的碳纖維,從而 導致重量損失。同時,浸漬后制備樣品中心區(qū)域沉積 PyC量少,滲硅時只能生成較少的SiC,不能均勻的 包覆于碳纖維表面,在被氧化成SiO2時也不易形成連 續(xù)致密的氧化層,如圖9(a)和(c),使得中心區(qū)域碳纖 維更容易被氧化,導致重量損失較大。綜上所述,經 過注射均勻引入了 SiC-ZrC 粉后,樣品表現(xiàn)出更好的 抗氧化性。




圖8為兩種工藝制備的復合材料在1 400 C空氣 中氧化180 min后的XRD圖譜。由圖可知,浸漬后制 備樣品在空氣中氧化180 min后,僅存在SiO2和SiC 的強峰值,未檢出ZrO2和C的峰值,這是由于浸漬 后制備樣品表面的碳纖維已被完全氧化,檢測不到 C 的峰值,而中間區(qū)域不存在ZrC,因此不會有ZrO2 生成,這與氧化前 XRD 結果一致。結合圖 7,浸漬后 制備樣品在氧化180 min后仍有大量失重,說明碳纖 維表面SiC氧化生成的SiO2不能形成較連續(xù)的氧化 層,不能對碳纖維形成有效保護。且從圖5(c)中可以 看出樣品中存在較多孔隙,氧氣可以通過這些孔隙侵 入內部纖維,降低復合材料的抗氧化性能。而注射后 制備樣品在空氣中氧化180 min后,表層物質由ZrO2、 SiO2、 SiC ZrSiO4 組成。表層檢測不到 C 峰,說明 表面的碳纖維也已被氧化,結合圖 7所示,這也是注 射后制備樣品初始失重的原因。但隨著氧化的繼續(xù)進 行,碳纖維表面的 ZrC SiC 分別氧化生成的 ZrO2 和SiO2,并逐漸形成致密的氧化物膜,能起到隔絕空 氣的作用,對碳纖維起到了有效保護作用,因此氧化 時間繼續(xù)增加,樣品質量基本不變。

圖9(a)和(b)為注射后制備樣品和浸漬后制備樣品 1 400 C空氣氣氛中氧化180 min后的表面形貌, 9(c)和@)為表層截面形貌,圖9(e)和⑴為中心截面 形貌。圖9(a)中,浸漬后處理樣在1 400 C氧化后其 表面存在較多大孔,未形成連續(xù)致密的氧化層,大孔 連通至樣品內部,見圖9(c)。這種大孔形成的原因主 要是樣品本身密度低、孔隙較多,加上碳纖維氧化后 所留下的孔洞,如圖9(e)所示??諝饪梢酝ㄟ^這些孔 隙進入樣品內部,進一步造成內部碳纖維和基體的氧 化,便形成大孔洞,這也是前述該樣品氧化 180 min 后仍然大量失重的原因。由圖9(b)可知,注射后處理 樣表面存在一些碳纖維氧化后留下的孔洞,但尺寸明 顯小于浸漬后處理樣品,且部分孔洞已被表面ZrC SiC基體的氧化產物ZrO2和SiO2填充,且注射后處理 樣表面形成了約為82.49 gm的較為連續(xù)致密的氧化 層,見圖9(d)。同時,樣品中還存在被基體包裹的碳 纖維,如圖9⑴所示,表明這種連續(xù)致密的氧化層有 利于阻擋空氣進入樣品內部,能有效降低樣品的氧化 失重,提高材料的抗氧化性能。

3 結論

1) 與真空浸漬法相比,漿料注射法能更均勻地將 SiC-ZrC 陶瓷引入到厚度為 30 mm 的碳纖維預制體 中,包括網(wǎng)胎層和無緯布層,提高了素坯中陶瓷粉末 分布的均勻性,同時素坯的平均密度也提升至 2.32 g/cm3。

2) 真空浸漬后制備的 Cf/SiC-ZrC 復合材料中心 區(qū)域和外層區(qū)域密度和抗彎強度相差較大,材料斷裂 方式表現(xiàn)為脆性斷裂;漿料注射法制得的復合材料平 均密度為2.91 g/cm3,中心區(qū)域和外層區(qū)域的抗彎強 度相差較小,分別為41.12 MPa和43.90 MPa,材料的 斷裂方式均表現(xiàn)為假塑性斷裂。

3) 漿料注射法制備的 Cf/SiC-ZrC 復合材料在空 氣氧化 180 min 后,樣品表面形成較連續(xù)致密的 SiO2-ZrO2氧化膜,能有效阻止空氣進一步進入復合材 料內部,保證內部結構不被氧化,材料表現(xiàn)出更優(yōu)異 的抗氧化性能。


硅基半導體制程系列

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